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Verfahren zum Diagnostizieren von Schäden in einem messenden Tastkopf eines Koordinatenmessgeräts, a) wobei die elastische Biegematrix des Tastkopfs oder des Tastkopfs in Kombination mit weiteren Komponenten im unbeschädigten Zustand bestimmt wird; dadurch gekennzeichnet, b) dass die elastische Biegematrix des Tastkopfs oder des Tastkopfs in Kombination mit den weiteren Komponenten im potentiell beschädigten Zustand bestimmt wird; und c) dass die Werte der beiden bestimmten Biegematritzen miteinander verglichen werden, wobei aus den Abweichungen auf Schäden am Tastkopf geschlossen wird.
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