| 摘要 |
Verfahren zur Herstellung eines kapazitiven Drucksensors, wobei vorgesehen ist, dass der Drucksensor – auf einem Substrat (1) hergestellt wird, wobei vorgesehen ist, dass das Substrat (1) Schaltelemente (2) einer elektrischen Schaltung aufweist, und – ein erstes Sensorelement (Cnutz) umfasst, wobei das erste Sensorelement (Cnutz) zur Kapazitätsmessung wenigstens – eine Membran (6) und – einen Hohlraum (8) aufweist, wobei vorgesehen ist, dass – der wenigstens eine Hohlraum (8) – auf einer Seite durch die Membran (6) und – auf der der Membran (6) gegenüberliegenden Seite durch eine erste Schicht (3) begrenzt wird, und – die erste Schicht (3) elektrisch leitfähig ist, und – die erste Schicht (3) derart erzeugt wird, dass sich die erste Schicht (3) und die zur Substratoberfläche senkrechte Projektion der Schaltelemente (2) der elektrischen Schaltung wenigstens teilweise überdecken, dadurch gekennzeichnet, dass...
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