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Bauelement (20) mit einer oberflächenmikromechanischen Struktur, die sowohl bewegliche Elemente (8) als auch unbewegliche Elemente (9) umfasst, wobei–die oberflächenmikromechanische Struktur in einer funktionellen Schicht (6) ausgebildet ist,–die funktionelle Schicht (6) über mindestens eine erste Opferschicht (5) mit einem Substrat (2) verbunden ist,–mindestens eine Membranschicht (23) über der oberflächenmikromechanischen Struktur ausgebildet ist,–die Membranschicht (23) über mindestens ein unbewegliches Element (9) der oberflächenmikromechanischen Struktur mechanisch mit dem Substrat (2) verbunden ist und zwischen dem unbeweglichen Element (9) und der Membranschicht (23) mindestens eine zweite Isolationsschicht (21) ausgebildet ist,–die beweglichen Elemente (8) der oberflächenmikromechanischen Struktur durch Entfernen der ersten Opferschicht (5) und mindestens einer zweiten Opferschicht (22) freigelegt sind und die zweite Opferschicht (22) zwischen der funktionellen Schicht (6) und der Membranschicht (23) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Isolationsschicht (21) aus einem Material besteht, das durch... |
