METHOD AND DEVICE FOR SEPARATING ARGON FROM A GASEOUS MIXTURE

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Abtrennung von Argon aus einem Gasgemisch, eine Vorrichtung dazu, sowie deren Verwendung zur Rückgewinnung von Argon aus einem Ofen zum Herstellen von mono- und/oder polykristallinem Silizium durch Einschmelzen von Siliziumgranulat. Das erfindungsgemäße Verfahren zur Abtrennung von Argon aus einem Gasgemisch beinhaltet die Verfahrensschritte Sammlung des Gasgemisches, Grobentölung des Gasgemisches, Kompression des Gasgemisches, Kühlung des Gasgemisches, Feinentölung des Gasgemisches, Abtrennung des in dem Gasgemisch enthaltenen Sauerstoffes, Trocknung des Gasgemisches und Kryoreinigung des verbliebenen Gasgemisches zur flüssigen Abtrennung des Argons.