多级电离产生低能量高密度等离子体的装置及方法

摘要

本发明提出了一种多级电离产生低能量高密度等离子体装置及方法。装置分三级：第一级由针尖电极与金属棒电极组成，第二级由筒状金属电极与金属棒电极组成，第三级由金属网电极与金属棒电极组成。多级电离产生低能量高密度等离子体方法：通入5～50m3/h气体，气体在第一级50～100W电源功率作用下初步电离，初步电离出的等离子体经第二级50～150W电源功率的电离产生较大密度且较均匀的等离子体，第一、二级电离出的等离子体经第三级50～150W电源功率的电离与此级对气流的扰动，最终，在低功率输入作用下喷出电子能量不超过1ev、电子密度量级高达1022/m3、截面直径为15～20mm的均匀非平衡态等离子体射流。

主权项

一种多级电离产生低能量高密度等离子体的装置，其特征在于该装置有三级电离工作区域：第一级由针尖电极(6)与金属棒电极(7)通过第一高压高频电源(2)形成放电回路；第二级由筒状金属电极(8)与金属棒电极(7)通过第二高压高频电源(4)形成放电回路，第三级由金属丝网电极(9)与金属棒电极(7)通过第三高压高频电源(5)形成放电回路；每级电极均固定在绝缘管道(10)形成的管道上，金属棒电极(7)设在绝缘管道(10)中，并且与绝缘管道(10)同轴线设置，在金属棒电极(7)与绝缘管道(10)之间形成可以流动气体的环形空间。