一种自适应变阻尼超精密减振器

摘要

本发明公开了一种自适应变阻尼超精密减振器，其结构为：金属壳体外部呈上端开口的圆柱形，金属壳体内部中空，且由隔板隔离为上下两个中空部分，其剖面呈H形；下部的中空部分形成下腔室，上部的中空部分与活塞机构通过膜结构密封连接形成上腔室；在下腔室底部开有进气口，下腔室与上腔室之间安装有带节流阀的连通管路；负载连接板与活塞机构上端面固定连接；负载连接板上装有绝对速度传感器，在金属壳体上端部装有非接触式的电涡流接近传感器，在金属壳体与负载连接板之间安装有主动作动器，负载连接板用于与负载固定连接。本发明能够实现对垂向振动的良好衰减，能够进行在线自适应，而无须离线调试。本发明可以为光刻机及其他的精密设备提供超静的环境。

主权项

一种自适应变阻尼超精密减振器，其特征在于，该超精密减振器的结构为：金属壳体（1）外部呈上端开口的圆柱形，金属壳体（1）内部中空，且由隔板（10）隔离为上下两个中空部分，其剖面呈H形；下部的中空部分形成下腔室（3），上部的中空部分与活塞机构（6）通过膜结构密封连接形成上腔室（2）；在下腔室（3）底部开有进气口（9），下腔室（3）与上腔室（2）之间安装有带节流阀（8）的连通管路；负载连接板（7）与活塞机构（６）上端面固定连接；负载连接板（7）上装有绝对速度传感器（15），在金属壳体（1）上端部装有非接触式的电涡流接近传感器（16），在金属壳体（1）与负载连接板（7）之间安装有主动执行器，负载连接板（7）用于与负载（20）固定连接。