发明名称 切削方法及切削装置
摘要 本发明提供切削方法及切削装置,能尽可能地缩短切削行程。该切削方法中,被加工物粘贴在切割带的表面上,在被加工物保持在卡盘工作台的状态下,通过使卡盘工作台和切削刀具在加工进给方向(X轴方向)上相对移动来沿切断预定线实施切削加工,其特征在于,切削方法包括:加工进给开始位置定位工序,在X轴方向上的比切断预定线的加工开始点靠跟前侧预定距离的加工进给开始位置处,将切削刀具的最下点定位于预定切入深度的位置;切削工序,对卡盘工作台和切削刀具在X轴方向上进行加工进给直到切断预定线的加工结束点到达切削刀具的旋转中心;以及切削刀具退避工序,在加工结束点到达了切削刀具的旋转中心后,停止加工进给,并且使切削刀具退避。
申请公布号 CN101378037B 申请公布日期 2011.08.10
申请号 CN200810145612.4 申请日期 2008.08.05
申请人 株式会社迪思科 发明人 关家一马
分类号 H01L21/78(2006.01)I;B28D5/02(2006.01)I 主分类号 H01L21/78(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 陈坚
主权项 一种切削方法,在该切削方法中,将被加工物粘贴在安装于环状框架的切割带的表面上,在将该粘贴于切割带的表面上的被加工物保持在卡盘工作台的被加工物保持面上的状态下,使该卡盘工作台和切削刀具在加工进给方向即X轴方向上相对移动,由此来沿在被加工物上形成的切断预定线实施切削加工,其特征在于,上述切削方法包括以下工序:加工进给开始位置定位工序,在加工进给开始位置处,将上述切削刀具的最下点定位于预定的切入深度h的位置,其中上述加工进给开始位置是在X轴方向上从上述切断预定线的加工开始点向远离上述被加工物的一侧隔开预定距离S的位置;切削工序,在实施了上述加工进给开始位置定位工序后,对上述卡盘工作台和上述切削刀具在X轴方向上进行加工进给直到上述切断预定线的加工结束点到达在X轴方向上与上述切削刀具的旋转中心一致的位置;以及切削刀具退避工序,在上述切断预定线的加工结束点到达了在X轴方向上与上述切削刀具的旋转中心一致的位置之后,停止上述加工进给,并且使上述切削刀具在与上述卡盘工作台的上述被加工物保持面垂直的方向上退避。
地址 日本东京