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发明名称
摘要
申请公布号	JP4745187(B2)	申请公布日期	2011.08.10
申请号	JP20060273737	申请日期	2006.10.05
申请人		发明人
分类号	H01L21/8238;H01L21/336;H01L27/092;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78	主分类号	H01L21/8238
代理机构		代理人
主权项
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