发明名称 Apparatus with filet radius joints
摘要
申请公布号 EP1863079(B1) 申请公布日期 2011.08.10
申请号 EP20070010855 申请日期 2007.06.01
申请人 ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS, LLC 发明人 PICKERING, MICHAEL A.;GOELA, JITENDRA S.;TRIBA, JAMIE L.;PAYNE, THOMAS
分类号 H01L21/673 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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