发明名称 光学装置和结晶装置
摘要 一种光学装置以及利用该光学装置的结晶装置,所述光学装置包括:第一柱面透镜阵列(33a、34a),其中设置多个第一透镜部分(L),每个所述第一透镜部分具有第一曲率半径和第一宽度以便将激光分成多个光分量;以及多个第二透镜部分(S、S1、S2),每个所述第二透镜部分具有第二曲率半径和第二宽度,并设置在第一柱面透镜阵列中的至少一个位置上以便将其设置在相邻的第一透镜部分(L)之间。
申请公布号 CN101201414B 申请公布日期 2011.08.10
申请号 CN200710165750.4 申请日期 2007.11.06
申请人 株式会社液晶先端技术开发中心 发明人 大野隆;东和文;松村正清
分类号 G02B3/00(2006.01)I;G02B3/06(2006.01)I;G02B27/00(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I;H01L21/268(2006.01)I 主分类号 G02B3/00(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 王英
主权项 一种光学装置,其特征在于包括:第一柱面透镜阵列(33a、34a),其中设置多个第一透镜部分(L),每个所述第一透镜部分具有半圆柱形或伪半圆柱形并且具有第一曲率半径和第一宽度以便将激光分成多个光分量;以及第二透镜部分(S、S1、S2),每个所述第二透镜部分具有半圆柱形或伪半圆柱形并且具有分别与所述第一曲率半径和所述第一宽度不同的第二曲率半径和第二宽度,并且设置在所述第一柱面透镜阵列(33a、34a)中的至少一个位置上,以便使其置于相邻的第一透镜部分(L)之间,其中,在所述第一透镜部分(L)中,其垂直于纵轴的截面形状为楔形形状,并且透射光从其出射的出射部分的宽度大于光入射在其上的入射部分的宽度,以及在所述第二透镜部分(S)中,其垂直于纵轴的截面形状为设置在与所述第一透镜部分(L)的方向相反的方向上的楔形形状,并且透射光从其出射的出射部分的宽度小于光入射在其上的入射部分的宽度。
地址 日本神奈川县