定容式精准自动补液装置

摘要

一种定容式精准自动补液装置，包括储液罐、机械补液泵、定径罐、上液位传感器、下液位传感器、浮球、U形浮球杆、定容传感器、标尺、电磁换向阀、清洗槽和控制系统，在定径罐的内侧壁上设有上液位传感器和下液位传感器，通过定径罐的直径和浮球的下移距离可以获知一次补液的容积，浮球下降的距离由定容传感器控制，补液时电磁换向阀开通，当定容传感器下移预定距离后，定容传感器向控制系统发出信号，立即关闭电磁换向阀，这样清洗槽就能得到精确地补液，使清洗槽中的溶液浓度保持稳定，从根本上保证硅片清洗质量。

主权项

一种定容式精准自动补液装置，其特征是：它包括储液罐(1)、机械补液泵(2)、定径罐(3)、上液位传感器(4)、下液位传感器(5)、浮球(6)、U形浮球杆(7)、定容传感器(8)、标尺(9)、电磁换向阀(10)、清洗槽(11)和控制系统(12)，储液罐(1)设置在全自动硅片清洗机旁，储液罐(1)中存放待补充溶液，在储液罐(1)顶部设有加液开口，供操作人员向其中加注溶液，机械补液泵(2)设置在储液罐(1)和定径罐(3)之间，在定径罐(3)的侧壁上设有上液位传感器(4)和下液位传感器(5)，在定径罐(3)底部引出的补液管(14)经电磁换向阀(10)通入清洗槽(11)，浮球(6)放置在定径罐(3)内，U形浮球杆(7)的内杆(71)穿过定径罐(3)的上盖(31)并旋固在浮球(6)上，U形浮球杆(7)的外杆(72)沿定径罐(3)的外壁向下延伸，在外杆(72)上设有定容传感器(8)，在对应于定容传感器(8)的侧面设有标尺(9)，上液位传感器(4)、下液位传感器(5)、定容传感器(8)和电磁换向阀(10)都与控制系统(12)电连接。