| 发明名称 |
纳米光学天线阵列的制造方法 |
| 摘要 |
本发明涉及一种纳米光学天线阵列的制造方法，其包括以下步骤：提供一绝缘基底；对所述绝缘基底进行亲水处理；在所述绝缘基底上形成单层纳米微球；在形成有单层纳米微球的绝缘基底上蒸镀金属薄膜，使金属填充相邻纳米微球之间的间隙；去除纳米微球，保留填充在相邻纳米微球之间的间隙内的金属薄膜，形成纳米光学天线阵列。 |
| 申请公布号 |
CN102148429A |
申请公布日期 |
2011.08.10 |
| 申请号 |
CN201010110157.1 |
申请日期 |
2010.02.06 |
| 申请人 |
清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
发明人 |
朱振东;李群庆;陈墨;张立辉;范守善 |
| 分类号 |
H01Q15/00(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01Q15/00(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种纳米光学天线阵列的制造方法，其包括以下步骤：提供一绝缘基底；对所述绝缘基底进行亲水处理；在所述绝缘基底表面形成单层纳米微球；在形成有单层纳米微球的绝缘基底的表面蒸镀金属薄膜，使金属填充相邻纳米微球之间的间隙；去除纳米微球，保留填充在相邻纳米微球之间的间隙内的金属薄膜，形成纳米光学天线阵列。 |
| 地址 |
100084 北京市海淀区清华园1号清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室 |
