| 发明名称 | 固定温度下压印光刻方法 | ||
| 摘要 | 一种用于将图案从具有有结构的表面(11)的模板(10)转移到承载了受辐射而固化的材料表面层(14)的基板(12)的方法，包含：将所述模板和基板在压印设备中布置成相互平行，所述有结构的表面面向所述表面层；使用加热装置(20)将该模板和该基板加热到温度Tp；以及在维持所述温度Tp的同时执行步骤：将该模板压向该基板以将所述图案压印到所述层中；将所述层曝光于辐射(19)以固化该层；以及后烘焙该层。 | ||
| 申请公布号 | CN101073034B | 申请公布日期 | 2011.08.10 |
| 申请号 | CN200480042984.4 | 申请日期 | 2004.11.25 |
| 申请人 | 奥布杜卡特公司 | 发明人 | 马克·贝克;巴巴克·海达里;埃里克·博尔姆斯乔;埃里克·西安德 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01)I;B29C43/10(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陶凤波 |
| 主权项 | 一种用于将图案从具有有结构的表面的模板转移到承载了受辐射而固化的材料表面层的基板的方法，包含：将所述模板和基板在压印设备中布置成相互平行，所述有结构的表面面向所述表面层；使用加热装置将该模板和该基板加热到温度Tp；以及在维持所述温度Tp的同时执行以下步骤：将该模板压向该基板，从而将所述图案压印到所述层中；将所述层曝光于辐射以固化该层；以及后烘焙该层；其中所述材料为紫外可交联的热塑性聚合物，其玻璃温度为Tg，其中温度Tp大于温度Tg，且其中所述辐射为紫外辐射。 | ||
| 地址 | 瑞典马尔默 | ||