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发明名称
摘要
申请公布号
JP4741814(B2)
申请公布日期
2011.08.10
申请号
JP20040191040
申请日期
2004.06.29
申请人
发明人
分类号
H01L21/336;H01L27/088;H01L21/316;H01L21/8234;H01L21/8247;H01L27/105
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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