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发明名称
SPUTTERING TARGET WITH SLOW-SPUTTER LAYER UNDER TARGET MATERIAL
摘要
申请公布号
EP1913624(B1)
申请公布日期
2011.08.10
申请号
EP20060785376
申请日期
2006.06.21
申请人
GUARDIAN INDUSTRIES CORP.
发明人
MAYER, RAYMOND M.;LU, YIWEI
分类号
H01J37/34;C23C14/34;C23C14/50
主分类号
H01J37/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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