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发明名称
摘要
申请公布号 JP4742736(B2) 申请公布日期 2011.08.10
申请号 JP20050231894 申请日期 2005.08.10
申请人 发明人
分类号 C30B29/04;C01B31/06;C23C16/27;H01L21/265 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
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