放射线敏感性树脂组合物

摘要

一种放射线敏感性树脂组合物，其含有聚合物(A)、放射线敏感性的酸产生剂(B)、酸扩散抑制剂(C)和溶剂(D)，上述聚合物(A)是具有下述通式(a-1)表示的重复单元(a-1)的聚合物，上述酸扩散抑制剂(C)含有下述通式(C-1)表示的碱(C-1)和光分解性碱(C-2)中的至少一种碱。通式(a-1)中，R¹相互独立地表示氢原子等，R为通式(a’)表示的1价基团，R¹⁹表示碳原子数为1～5的链状烃基等，A表示碳原子数为1～30的2价链状烃基等，m和n表示0～3的整数(其中m+n＝1～3)。通式(C-1)中，R²、R³相互独立地表示碳原子数为1～20的1价链状烃基等，2个R²也可以结合形成环结构。

主权项

1.一种放射线敏感性树脂组合物，含有具有酸解离性基团的聚合物(A)、放射线敏感性的酸产生剂(B)、和酸扩散抑制剂(C)，作为所述聚合物(A)，含有具有下述通式(a-1)表示的重复单元(a-1)的聚合物，作为所述酸扩散抑制剂(C)，含有下述通式(C-1)表示的碱(C-1)和光分解性碱(C-2)中的至少一种碱，通式(a-1)中，R¹相互独立地表示氢原子、甲基或三氟甲基，R为通式(a’)表示的1价基团，R¹⁹相互独立地表示氢原子、碳原子数为1～5的链状烃基，A表示单键、碳原子数为1～30的2价链状烃基、碳原子数为3～30的2价脂环式烃基或碳原子数为6～30的2价芳香族烃基，m和n表示0～3的整数，其中m+n＝1～3；通式(a’)的碳酸酯环，也可以除了通式(a-1)所示的第1键外，还具有与A结合的第2键，从而形成包括所述第1键和所述第2键的环结构，通式(C-1)中，R²、R³相互独立地表示氢原子、碳原子数为1～20的1价链状烃基、碳原子数为3～20的1价脂环式烃基或碳原子数为6～20的1价芳香族烃基；2个R²也可以结合形成环结构。