发明名称 喷嘴板、喷嘴板的制造方法、液滴喷出头及液滴喷出装置
摘要 本发明提供一种喷嘴板,其特征在于,包括:第1硅层;玻璃层;设置在所述第1硅层与所述玻璃层之间、并与所述玻璃层接合的第2硅层;以及设置在所述第1硅层与所述第2硅层之间的氧化硅层,该喷嘴板形成有:贯通所述第1硅层并喷出液滴的喷嘴孔;贯通所述氧化硅层及所述第2硅层、并与所述喷嘴孔连通的流路;以及形成在所述玻璃层上并与所述流路连通的液室。
申请公布号 CN101284447B 申请公布日期 2011.08.10
申请号 CN200710185787.3 申请日期 2007.12.26
申请人 株式会社东芝 发明人 樱井直明;山边纯成;小泉洋
分类号 B41J2/14(2006.01)I;B41J2/16(2006.01)I 主分类号 B41J2/14(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 吴丽丽
主权项 一种喷嘴板,其特征在于,包括:第1硅层;玻璃层;设置在所述第1硅层与所述玻璃层之间、并与所述玻璃层接合的第2硅层;以及设置在所述第1硅层与所述第2硅层之间的氧化硅层,该喷嘴板形成有:贯通所述第1硅层并喷出液滴的喷嘴孔;贯通所述氧化硅层及所述第2硅层、并与所述喷嘴孔连通的流路;以及形成在所述玻璃层上并与所述流路连通的液室。
地址 日本东京都