发明名称 |
喷嘴板、喷嘴板的制造方法、液滴喷出头及液滴喷出装置 |
摘要 |
本发明提供一种喷嘴板,其特征在于,包括:第1硅层;玻璃层;设置在所述第1硅层与所述玻璃层之间、并与所述玻璃层接合的第2硅层;以及设置在所述第1硅层与所述第2硅层之间的氧化硅层,该喷嘴板形成有:贯通所述第1硅层并喷出液滴的喷嘴孔;贯通所述氧化硅层及所述第2硅层、并与所述喷嘴孔连通的流路;以及形成在所述玻璃层上并与所述流路连通的液室。 |
申请公布号 |
CN101284447B |
申请公布日期 |
2011.08.10 |
申请号 |
CN200710185787.3 |
申请日期 |
2007.12.26 |
申请人 |
株式会社东芝 |
发明人 |
樱井直明;山边纯成;小泉洋 |
分类号 |
B41J2/14(2006.01)I;B41J2/16(2006.01)I |
主分类号 |
B41J2/14(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
吴丽丽 |
主权项 |
一种喷嘴板,其特征在于,包括:第1硅层;玻璃层;设置在所述第1硅层与所述玻璃层之间、并与所述玻璃层接合的第2硅层;以及设置在所述第1硅层与所述第2硅层之间的氧化硅层,该喷嘴板形成有:贯通所述第1硅层并喷出液滴的喷嘴孔;贯通所述氧化硅层及所述第2硅层、并与所述喷嘴孔连通的流路;以及形成在所述玻璃层上并与所述流路连通的液室。 |
地址 |
日本东京都 |