利用双阶段虚拟测量系统的虚拟测量方法

摘要

本发明公开了一种利用双阶段虚拟测量系统的虚拟测量方法，借以产生双阶段虚拟测量值来兼顾立即性与准确性。其中，第一阶段推估步骤是在某一工件的工艺参数数据一收集完成便立即计算此工件的第一阶段虚拟测量值(VMI)，以满足立即性的需求；第二阶段推估步骤是在取得被抽测的工件的实际测量值后(用以重新训练或调校)，才重新计算此被抽测的工件所属的卡匣内的所有工件的第二阶段虚拟测量值(VMII)，以满足准确性的需求。此外，此方法也产生第一阶段虚拟测量值和第二阶段虚拟测量值的信心指标和整体相似度指标。

主权项

一种利用双阶段虚拟测量系统的虚拟测量方法，其特征在于，该虚拟测量方法至少包括：该双阶段虚拟测量系统获取一生产机台的多组历史工艺参数数据，其中多个历史工件是根据该多组历史工艺参数数据所生产；该双阶段虚拟测量系统从一测量机台取得多个历史测量值，其中该些历史测量值分别为该多个历史工件的测量值；透过该双阶段虚拟测量系统使用该些组历史工艺参数数据和该些历史测量值来建立一第一推估模式，该第一推估模式的建立是根据一推估算法，该推估算法是选自由一复回归算法和一类神经网络算法所组成的一族群；该双阶段虚拟测量系统等待收集该生产机台所送出的多个工件的工艺参数数据；当该生产机台所送出的该些工件的一者的工艺参数数据收集完成后，透过该双阶段虚拟测量系统立即进行一第一阶段推估步骤，该第一阶段推估步骤至少包括：输入该生产机台所送出的该些工件的该者的工艺参数数据至该第一推估模式，而计算出该些工件的该者的一第一阶段虚拟测量值；该双阶段虚拟测量系统从该测量机台取得一被抽测的工件的一实际测量值；该双阶段虚拟测量系统取得该被抽测的工件的工艺参数数据；该双阶段虚拟测量系统取得该被抽测的工件所属的一卡匣内的所有工件的工艺参数数据；以及当从该测量机台取得该些工件的该被抽测的工件的该实际测量值时，透过该双阶段虚拟测量系统进行一第二阶段推估步骤，其中该第二阶段推估步骤至少包括：将该被抽测的工件的工艺参数数据及实际测量值加入该些组历史工艺参数数据及该些历史测量值，来重新建立该第一推估模式而成为一第二推估模式；或以该被抽测的工件的工艺参数数据及实际测量值来调校该第一推估模式的参数值而成为该第二推估模式；输入该被抽测的工件所属的该卡匣内的所有工件的工艺参数数据至该第二推估模式，而重新计算出该卡匣内的每一个工件的一第二阶段虚拟测量值；以及以该第二推估模式取代该第一推估模式，来计算出后续进入该生产机台的工件的第一阶段虚拟测量值。