差动共焦干涉元件多参数测量方法与装置

摘要

本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种差动共焦(共焦)干涉元件多参数测量方法与装置。本发明的核心思想是利用差动共焦(共焦)测量系统测量球面元件表面曲率半径、透镜顶焦距、透镜折射率、透镜厚度以及镜组轴向间隙，利用面形干涉测量系统测量元件表面面形，可实现元件多个参数的同时测量，测量精度高。本发明首次将差动共焦(共焦)探测系统和面形干涉测量系统相融合，测量参数全面，且在元件多个参数测量过程中，无需重新调整光路，拆卸被测元件，对被测元件无损伤，测量速度快。

主权项

差动共焦干涉元件多参数测量方法，其特征在于：打开点光源，由点光源出射的光经第一分光镜、准直透镜和会聚透镜后形成测量光束并照射在被测元件上；调整被测元件的光轴，使其与测量光束共光轴；由被测元件反射回来的光通过会聚透镜和准直透镜后由第一分光镜反射，射向第二分光镜，第二分光镜将光分成两路，一路进入面形干涉测量系统，另一路进入差动共焦测量系统；通过面形干涉测量系统形成干涉图形，通过差动共焦测量系统形成差动共焦响应信号；由干涉图形测量被测元件的表面面形，由差动共焦响应信号测量球面元件表面曲率半径、透镜顶焦距、透镜折射率、透镜厚度及镜组轴向间隙。