一种真空镀膜靶条气体供气分布装置

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜靶条气体供气分布装置，包括两块板材，在其中一块板材上，铣出若干组槽，每组槽由若干级横向和竖向的槽呈阶梯状排布，横向槽将相邻的竖向槽连通，所述的两块板材的接触面是气体密封面；本实用新型工艺简单，供气更为均匀，能实现分段供气。

主权项

一种真空镀膜靶条气体供气分布装置，包括供气管，流量装置和出气装置，所述的供气管通过所述的流量装置与出气装置连接，其特征在于：所述的出气装置包括两块板材，在其中一块板材上，铣出若干组槽，每组槽由若干级横向和竖向的槽呈阶梯状排布，横向槽将相邻的竖向槽连通，所述的两块板材的接触面是气体密封面。