发明名称 微流体设备
摘要 本发明的目的在于:在简化具有微泵系统的微流体设备的制造工序的同时使其进一步小型化。为此,本发明提供微流体设备(1),其具有气体生成部(3)。气体生成部具有基板(10)和气体生成层(20)。基板(10)具有第1主面(10a)和第2主面(10b),且形成有至少在所述第1主面(10a)上开口的微流路(14)。气体生成层(20)设置于基板(10)的第1主面(10a)上,并覆盖开口(14a)。气体生成层(20)通过接受外部刺激而产生气体。
申请公布号 CN102146905A 申请公布日期 2011.08.10
申请号 CN201110036693.6 申请日期 2009.03.11
申请人 积水化学工业株式会社 发明人 福冈正辉;山本一喜;赤木良教;福井弘司
分类号 F04B19/00(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I;G01N31/20(2006.01)I;G01N33/50(2006.01)I 主分类号 F04B19/00(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 张平元
主权项 一种微流体设备,其具有气体生成部,其中,所述气体生成部具有基板和气体生成层,所述基板具有第1主面和第2主面,且形成有在所述第1主面上开口的微流路;所述气体生成层设置于上述基板的第1主面上,并覆盖上述开口,该气体生成层通过接受外部刺激而产生气体,所述气体生成层的所述基板侧的表面及所述基板的第1主面中的至少一面为粗糙面。
地址 日本大阪府