发明名称 基于单波导耦合微环谐振腔的光学向量-矩阵乘法器
摘要 一种基于单波导耦合微环谐振腔的光学向量-矩阵乘法器,包括:一衬底;一埋层,该埋层制作在衬底上;一顶层,该顶层制作在埋层上,该顶层的上面刻蚀有梳状结构,该梳状结构包括背部和齿部,该齿部的侧向刻蚀有可调谐微环谐振腔,齿部的每个齿与邻近的多个可调谐微环谐振腔相耦合形成级联多波长调制器;其中该梳状结构的背部的中间形成光信号输入端;该梳状结构的齿部的尾部形成光信号的输出端。
申请公布号 CN102147634A 申请公布日期 2011.08.10
申请号 CN201010564515.6 申请日期 2010.11.24
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 冀瑞强;杨林
分类号 G06E1/04(2006.01)I;G02F3/00(2006.01)I 主分类号 G06E1/04(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 汤保平
主权项 一种基于单波导耦合微环谐振腔的光学向量‑矩阵乘法器,包括:一衬底;一埋层,该埋层制作在衬底上;一顶层,该顶层制作在埋层上,该顶层的上面刻蚀有梳状结构,该梳状结构包括背部和齿部,该齿部的侧向刻蚀有可调谐微环谐振腔,齿部的每个齿与邻近的多个可调谐微环谐振腔相耦合形成级联多波长调制器;其中该梳状结构的背部的中间形成光信号输入端;该梳状结构的齿部的尾部形成光信号的输出端。
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