Method for chip singulation,申请号EP20050447213-传众专利搜索

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发明名称	Method for chip singulation
摘要
申请公布号	EP1641038(B1)	申请公布日期	2011.08.10
申请号	EP20050447213	申请日期	2005.09.21
申请人	IMEC	发明人	BEYNE, ERIC;SWINNEN, BART;VANHAELEMEERSCH, SERGE
分类号	H01L21/78	主分类号	H01L21/78
代理机构		代理人
主权项
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