发明名称 测试装置、测试方法、电路系统、以及电源装置、电源评价装置、电源环境的仿真方法
摘要 主电源(10)将电源电压(Vdd)提供给DUT(100)的电源端子(102)。控制图形生成部(22)用于生成包含脉冲列的控制图形(CNT)。补偿电路(20)根据控制图形(CNT),而从与主电源(10)不同的通路向DUT(100)的电源端子(102)中间歇性地注入补偿电流(Icmp)。开关(20b)被设置在电压源(20a)的输出端子和DUT(100)的电源端子(102)之间,并根据控制图形(CNT)而切换为开、关。
申请公布号 CN102150054A 申请公布日期 2011.08.10
申请号 CN200980135553.5 申请日期 2009.09.03
申请人 株式会社爱德万测试 发明人 石田雅裕;冈安俊幸;山本和弘
分类号 G01R31/28(2006.01)I;G11C29/56(2006.01)I 主分类号 G01R31/28(2006.01)I
代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人 黄志华
主权项 一种电路系统,其特征在于,具备:半导体设备;主电源,其将电源电压提供给所述半导体设备的电源端子;控制图形生成部,其生成包含与所述半导体设备执行的处理相对应的脉冲列的控制图形;补偿电路,其在所述半导体设备执行所述处理期间,根据所述控制图形,而从与所述主电源不同的通路向所述半导体设备的电源端子中间歇性地注入补偿电流。
地址 日本东京