| 发明名称 |
CHEMICAL MECHANICAL POLISHING PAD AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1975985(A4) |
申请公布日期 |
2011.08.10 |
| 申请号 |
EP20070713711 |
申请日期 |
2007.01.22 |
| 申请人 |
JSR CORPORATION |
发明人 |
HOSAKA, YUKIO;TSUJI, SHOEI |
| 分类号 |
H01L21/304;B24B37/20;B24D13/14 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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