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发明名称
摘要
申请公布号 KR101055882(B1) 申请公布日期 2011.08.09
申请号 KR20097010994 申请日期 2007.12.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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