发明名称 IMPLANTATION A TEMPERATURE CONTROLEE
摘要
申请公布号 FR2929446(B1) 申请公布日期 2011.08.05
申请号 FR20080052014 申请日期 2008.03.28
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 SCARFOGLIERE BENJAMIN;BEN MOHAMED NADIA;CATTET SEBASTIEN
分类号 H01L21/26;H01L21/762 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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