METHOD FOR INSPECTING STRUCTURES OF TEST SUBSTRATES

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Inspektion von Testsubstraten in einem Prober, welcher einen Chuck zur Aufnahme des Testsubstrats (2), eine Inspektionseinheit mit einer Kamera zur Inspektion des Testsubstrats (2), eine Bewegungsvorrichtung zur Bewegung des Chucks und/oder der Inspektionseinheit, eine Steuereinheit zur Steuerung der Bewegungsvorrichtung und eine Anzeige zur Darstellung eines mittels der Kamera aufgenommenen Bildes aufweist. Zur Inspektion wird ein Übersichtsbild (1) erzeugt vom Testsubstrat (2), indem eine Mehrzahl von Einzelbildern (4) in verschiedenen Positionen des Testsubstrats (2) aufgenommen und auf der Anzeige zum Übersichtsbild (1) zusammengefügt werden. Jedes Einzelbild (4) wird zusammen mit den Koordinaten der Position, in der es aufgenommen wurde, gespeichert. Zur Navigation auf dem Testsubstrat wird ein Einzelbild (4) im Übersichtsbild (1) ausgewählt, worauf eine mit dem Einzelbild (4) verknüpfte Position mittels der Bewegungsvorrichtung angefahren und dort eine Abbildung des dann im Sichtfeld (6) der Inspektionseinheit befindlichen Ausschnitts des Testsubstrats (2) erzeugt wird.