| 摘要 |
<p>【課題】複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出装置を提供する。【解決手段】回転底盤構造１０と回転底盤構造上に設けられた中空透明回転盤構造１１とを含み、中空透明回転盤構造の下表面がインナーサークル領域とインナーサークル領域を取り囲むアウターサークル領域とに区画され、中空透明回転盤構造のインナーサークル領域は、回転底盤構造によって被覆される。中空透明回転盤構造のアウターサークル領域は、外部に露出され、中空透明回転盤構造の上表面は、アウターサークル領域の上方に位置する少なくとも２つの環形案内領域１１Ｇを有し、複数の電子素子が少なくとも２つの環形案内領域上に順に配列された回転盤モジュール１と、中空透明回転盤構造に隣接するとともに中空透明回転盤構造を順に取り囲む複数の電子素子検出ユニット６０を含む検出モジュール６と、を備える。【選択図】図２</p> |
