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发明名称 TRANSFER ROBOT, TRANSFER METHOD AND CONTROL METHOD
摘要
申请公布号 EP2199035(A4) 申请公布日期 2011.08.03
申请号 EP20080831053 申请日期 2008.08.29
申请人 KABUSHIKI KAISHA YASKAWA DENKI 发明人 SUEYOSHI, SATOSHI;TANAKA, KENTARO;MATSUO, TOMOHIRO
分类号 B25J9/06;B65G49/06;H01L21/677 主分类号 B25J9/06
代理机构 代理人
主权项
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