| 发明名称 | 用于生成光罩的方法和用于检查物体的设备 | ||
| 摘要 | 一种用于生成与光测量系统(10)一起使用的光罩(50、52)的方法(72)，光测量系统(10)包括用于将光投射到物体(12)上的光源(22)，和用于接收从物体反射的光的成像传感器(24)。该方法包括确定(74)要检查的物体的轮廓(56)，并且基于所确定的物体轮廓生成(86)电子光罩。电子光罩具有电子开口(62、68)，电子开口(62、68)具有定义为从光源和成像传感器其中之一的视角来看基本上与所确定的物体轮廓匹配的轮廓(64、70)。 | ||
| 申请公布号 | CN1955723B | 申请公布日期 | 2011.08.03 |
| 申请号 | CN200610143649.4 | 申请日期 | 2006.10.24 |
| 申请人 | 通用电气公司 | 发明人 | 胡庆英;K·G·哈丁;J·B·罗斯;D·W·哈米尔顿 |
| 分类号 | G01B11/25(2006.01)I;G01N21/95(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/25(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 曾祥夌;王勇 |
| 主权项 | 一种用于生成与光测量系统(10)一起使用的光罩(50、52)的方法(72)，所述光测量系统(10)包括用于将光投射到物体(12)上的光源(22)和用于接收从所述物体反射的光的成像传感器(24)，所述方法包括：确定(74)要检查的所述物体的轮廓；以及基于所确定的物体轮廓生成(86)电子光罩，其中所述电子光罩具有电子开口，所述电子开口具有定义为从所述光源和所述成像传感器其中之一的视角来看基本上与所确定的物体轮廓匹配的轮廓。 | ||
| 地址 | 美国纽约州 | ||