| 发明名称 | 用于产生特别是EUV辐射和/或软X射线辐射的方法和设备 | ||
| 摘要 | 描述了一种用于产生由等离子体(26)发射的特别是EUV辐射(12)和/或软X射线辐射(12a)的方法。等离子体(26)是由放电空间(14)中的工作气体(22)形成的，所述放电空间(14)包括至少一个辐射发射窗口(16)和具有至少一个阳极(18)和至少一个阴极(20)的电极系统。该电极系统借助于被引入到放电空间(14)中的电荷载体(24)而将电能传输给等离子体(26)。为了得到以高重复频率可靠地点燃等离子体(26)，建议将由至少一个辐射源(28)产生的辐射(30)引入到放电空间(14)中以便使得可获得放电载荷(24)。 | ||
| 申请公布号 | CN101390453B | 申请公布日期 | 2011.08.03 |
| 申请号 | CN200480037540.1 | 申请日期 | 2004.12.13 |
| 申请人 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 发明人 | G·H·德拉;R·T·A·阿佩茨;W·内夫;O·罗西尔;P·青克 |
| 分类号 | H05G2/00(2006.01)I | 主分类号 | H05G2/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 程天正;陈景峻 |
| 主权项 | 一种用于产生特别是EUV辐射(12)和/或软X射线辐射(12a)的方法，所述EUV辐射(12)和/或软X射线辐射(12a)是由在放电空间(14)中由工作气体(22)形成的等离子体(26)发射的，所述放电空间(14)至少包括辐射发射窗口(16)和具有至少一个阳极(18)和至少一个阴极(20)的电极系统，该电极系统借助于被引入到放电空间(14)中的电荷载体(24)而将电能传输到等离子体(26)中，其中由至少一个辐射源(28)产生的至少一个辐射(30)被引入到放电空间(14)中以便使得可获得放电载荷(24)，其特征在于，辐射(30)被引入到该电极系统的电极(18，20，36)中形成的至少一个空腔中，该空腔朝向该放电空间(14)开口并在至少三侧由电极材料界定，并且与该辐射发射窗口(16)相对，或者辐射(30)被引入到邻近所述至少一个空腔的区域中。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||