| 发明名称 | 晶圆盒 | ||
| 摘要 | 本实用新型的晶圆盒包括加热器，所述加热器上设有定位销，其特征在于，所述定位销设有毛细管，该毛细管从所述定位销的底端贯穿至所述定位销的顶端。本实用新型的晶圆盒可避免产生定位销跳动现象，精确定位晶圆。 | ||
| 申请公布号 | CN201918372U | 申请公布日期 | 2011.08.03 |
| 申请号 | CN201020683175.4 | 申请日期 | 2010.12.27 |
| 申请人 | 武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 姜再培;李祥福;汪少军 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种晶圆盒，包括加热器，所述加热器上设有定位销，其特征在于，所述定位销设有毛细管，该毛细管从所述定位销的底端贯穿至所述定位销的顶端。 | ||
| 地址 | 430205 湖北省武汉市东湖技术开发区高新四路18号 | ||