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发明名称
摘要
申请公布号 JP4737552(B2) 申请公布日期 2011.08.03
申请号 JP20060527779 申请日期 2004.11.09
申请人 发明人
分类号 C23C14/12;C23C14/58;C23C16/30;C23C16/56;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/768;H01L23/522;H05K3/28 主分类号 C23C14/12
代理机构 代理人
主权项
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