| 发明名称 | 电容耦合式射频电浆源 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种电容耦合式射频电浆源，其为一种大面积电容耦合式射频电浆源，其仅使用一射频电源供应器，而使射频功率以双端口的方式输入，并且每端口的输入阻抗可以个别调整，用以消除驻波效应，并达成电浆的均匀化。 | ||
| 申请公布号 | CN101770922B | 申请公布日期 | 2011.08.03 |
| 申请号 | CN200810187755.1 | 申请日期 | 2008.12.31 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 张志振;吴东权;罗展兴;吴庆辉;黄振荣;梁沐旺;张家豪 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I;H01J31/18(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 梁挥;祁建国 |
| 主权项 | 一种电容耦合式射频电浆源，其特征在于，包括：一第一输入端口，耦接至一矩形电极；一第二输入端口，耦接至该矩形电极；一第一阻抗调节器，耦接至该第一输入端口；一第二阻抗调节器，耦接至该第二输入端口；一阻抗匹配电路，分别耦接至该第一阻抗调节器与该第二阻抗调节器；以及一射频电源供应器，耦接至该阻抗匹配电路。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹县 | ||