基板处理装置

摘要

本发明提供一种基板处理装置，用于减少设置所必需的占地面积，可以用简单的结构以倾斜姿态搬送基板，降低设备成本。搬送方向转换部(40)转换搬送方向，通过该倾斜搬送部(49)，在大致维持通过第一搬送路(41)的梯度而处于倾斜姿态的状态不变的条件下，将在第一处理部(20)实施处理后的基板搬送到第二搬送路(43)。液体供给部向由此倾斜搬送部(49)搬送的基板(B)的主面供给处理液。在第二搬送路(43)以及第二处理部(30)，使由倾斜搬送部(49)保持为倾斜姿态的基板，以原姿态在与第一处理部20相反方向上进行搬送和处理。

主权项

一种基板处理装置，具有：第一处理部，其在向预先设定的方向搬送基板的同时处理该基板；第二处理部，其与上述第一处理部大致平行地配置，在向与上述预先设定的方向相反方向搬送基板的同时处理该基板；搬送方向转换部，其在上述第一处理部的基板搬送结束端和上述第二处理部的基板搬送开始端之间搬送基板的同时，将上述第一处理部的基板搬送方向转换为上述第二处理部的基板搬送方向，其特征在于，上述搬送方向转换部具有：第一搬送路，其从上述第一处理部的基板搬送结束端接受基板，并朝向上述第一处理部的基板搬送方向具有梯度；第二搬送路，其朝向上述第二处理部的基板搬送开始端搬送基板，并朝向上述第二处理部的基板搬送方向具有梯度，并且，上述第二搬送路具有的梯度是向与上述第一搬送路具有的朝向上述第一处理部的基板搬送方向的梯度相反的方向倾斜的梯度；倾斜搬送部，其在大致维持基于上述第一搬送路具有的上述梯度而倾斜的基板的姿态的状态下向第二搬送路搬送基板；液体供给单元，其向由上述倾斜搬送部搬送的基板的主面供给处理液。