光学元件中线性和圆形双衰减的测量

摘要

一种用于测量光学元件中的线性或圆形双衰减的系统，包括：样品旋转台，用于固定光学元件样品；光源模块，用于产生光源光束；和检测器模块。光源模块和检测器模块布置成样品旋转台在它们之间，从而允许光源光束传播通过可以固定在样品台中的样品并到达检测器模块。提供光源模块和检测器模块的直线运动控制以及光源模块、样品旋转台和检测器模块的倾斜控制，从而有助于由检测器模块检测与固定在样品台中的光学样品的双衰减特性相对应的调制后的光强信息。

主权项

一种用于测量光学元件中的双衰减的系统，包括：样品旋转台，用于固定光学元件样品；光源模块，用于产生光源光束；检测器模块；所述光源模块和所述检测器模块布置成所述样品旋转台在它们之间，从而允许所述光源光束传播通过可以固定在所述样品台中的样品并到达所述检测器模块；用于控制所述光源模块的直线运动的直线运动装置和用于控制所述检测器模块的直线运动的直线运动装置；第一倾斜装置，用于控制光源光束和所述光源模块的倾斜，旋转装置，用于控制所述样品旋转台的旋转，和第二倾斜装置，用于控制所述检测器模块的倾斜，从而有助于由所述检测器模块来检测与固定在所述样品台中的所述光学样品的双衰减特性相对应的光强信息。