| 发明名称 | 形成多个电容器的方法 | ||
| 摘要 | 本发明包含形成多个电容器的方法。在一个实施方案中，形成多个电容器的方法包含在衬底上的电容器阵列区域内提供多个电容器电极。所述电容器电极包括外部横向侧壁。所述多个电容器电极至少部分由保持结构(40)支撑，所述保持结构(40)与所述外部横向侧壁啮合。所述保持结构(40)至少部分通过以下方式形成：对所述电容器阵列区域内任何位置处未进行掩盖的材料层(36)进行蚀刻以形成所述保持结构。将所述多个电容器电极并入多个电容器中。 | ||
| 申请公布号 | CN101142657B | 申请公布日期 | 2011.08.03 |
| 申请号 | CN200680008606.3 | 申请日期 | 2006.02.27 |
| 申请人 | 美光科技公司 | 发明人 | 古尔特杰·S·桑胡;马克·D·杜尔詹 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L29/92(2006.01)I;H01L27/10(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 王允方 |
| 主权项 | 一种形成多个电容器的方法，其包括：在衬底上的电容器阵列区域内提供多个电容器电极，所述电容器电极包括外部横向侧壁；形成保持结构，其与所述电容器电极的所述外部横向侧壁啮合，所述保持结构至少部分通过以下方式形成：对所述电容器阵列区域内任何位置处未进行掩盖的材料层进行蚀刻以形成所述保持结构；所述蚀刻在形成所述多个电容器电极之前发生；且进一步包括在形成所述保持结构之后，蚀刻所述保持结构以减小其尺寸，所述经蚀刻的保持结构至少部分地支撑所述多个电容器电极；以及将所述多个电容器电极并入多个电容器中。 | ||
| 地址 | 美国爱达荷州 | ||