主动组件数组基板及其制作方法

摘要

本发明涉及一种主动组件数组基板及其制作方法。本发明将微粒掺杂于光阻材料中，并透过旋转涂布法之类的方式将掺有微粒的光阻材料涂布于保护层上以形成表面具有凸起图案的光阻材料层，至少部分的微粒粒径大于光阻材料层的厚度。因此，本发明所提供形成凸起图案的方法较为简易，而可减少传统光罩的使用，进而减少制作成本的负担。另外，由于光阻材料层的表面上形成有凸起图案，且反射电极共形于凸起图案上方，从而可使得主动组件数组基板应用于半穿透半反射或全反射式的液晶显示面板上。

主权项

一种主动组件数组基板，其特征在于：包括：一基板，定义出多个第一区与多个第二区；多个主动组件，配置于该基板上并位于该些第一区内，各该些主动组件具有一闸极、一主动层、一汲极及一源极，其中该主动层电性连接该汲极与该源极；一保护层，配置于该基板上并覆盖该些主动组件，该保护层具有多个第一开口，其中各该些开口分别暴露相对应的各该些主动组件的该汲极；一光阻材料层，配置于该保护层上，并具有一厚度及多个第二开口，其中各该些第二开口暴露各该些第一开口；多个微粒，配置于该光阻材料层中并于该光阻材料层的表面上构成多个凸起图案，且该些凸起图案至少位于各该些第一区内，至少部分该些微粒的粒径大于该光阻材料层的该厚度；多个透明电极，配置于该基板上并覆盖该光阻材料层，且该些透明电极共形于该些凸起图案，各该些透明电极依序透过该第二开口及该第一开口而与相对应的各该些主动组件的该汲极电性连接；以及多个反射电极，分别配置于该些透明电极上并共形于该些凸起图案，且该反射电极至少位于该些第一区上。