| 发明名称 |
一种新型的多晶硅熔炼炉 |
| 摘要 |
一种新型的多晶硅熔炼炉，使用了石英管作为壳体密封，极大的降低了系统的制造难度与费用，并使系统简单可用。该炉包括水冷顶盖、水冷底盖、石英管、下降机构、感应加热器、坩埚、保温设备。使用石英管做为壳体密封，使炉体内情况可以观察到，同时也降低炉体制造时间与成本。 |
| 申请公布号 |
CN102140686A |
申请公布日期 |
2011.08.03 |
| 申请号 |
CN201019172004.7 |
申请日期 |
2010.02.03 |
| 申请人 |
中国科学院福建物质结构研究所 |
发明人 |
吕佩文;黄丰;董建平;黄顺乐;陈伦泰;林钟潮;柯永灿 |
| 分类号 |
C30B29/06(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/06(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种新型多晶硅熔炼炉，包括水冷顶盖、水冷底盖、石英管、下降机构、感应加热器、坩埚、保温设备，其特征在于：水冷顶盖、水冷底盖与石英管共同构成密封壳体。 |
| 地址 |
350002 福建省福州市杨桥西路155号 |
