发明名称 一种用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统
摘要 一种用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,可以在真空条件或保护气条件下实现不开炉盖连续加料。本发明中的用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,包括通气管、密封阀门、密封顶盖、加料室、加料阀门、加料管。真空连续加料系统安装于多晶硅熔炼炉上方,可以在真空条件或保护气条件下实现不开炉盖连续加料。
申请公布号 CN102140685A 申请公布日期 2011.08.03
申请号 CN201010105399.1 申请日期 2010.02.03
申请人 中国科学院福建物质结构研究所 发明人 吕佩文;黄丰;董建平;黄顺乐;陈伦泰;林钟潮;柯永灿
分类号 C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I 主分类号 C30B29/06(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,包括密封顶盖、加料室、加料管。其特征在于:密封顶盖设有通气管、密封阀门;加料管上设有加料阀门,与密封顶盖和加料室共同构成密封系统。
地址 350002 福建省福州市杨桥西路155号