发明名称 |
一种用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统 |
摘要 |
一种用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,可以在真空条件或保护气条件下实现不开炉盖连续加料。本发明中的用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,包括通气管、密封阀门、密封顶盖、加料室、加料阀门、加料管。真空连续加料系统安装于多晶硅熔炼炉上方,可以在真空条件或保护气条件下实现不开炉盖连续加料。 |
申请公布号 |
CN102140685A |
申请公布日期 |
2011.08.03 |
申请号 |
CN201010105399.1 |
申请日期 |
2010.02.03 |
申请人 |
中国科学院福建物质结构研究所 |
发明人 |
吕佩文;黄丰;董建平;黄顺乐;陈伦泰;林钟潮;柯永灿 |
分类号 |
C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/06(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,包括密封顶盖、加料室、加料管。其特征在于:密封顶盖设有通气管、密封阀门;加料管上设有加料阀门,与密封顶盖和加料室共同构成密封系统。 |
地址 |
350002 福建省福州市杨桥西路155号 |