发明名称 薄膜晶体管的多晶硅层及其显示器
摘要 本发明提供一种薄膜晶体管(TFT)的多晶硅层,包括:有源沟道区,其中,有源沟道区的长度为晶粒尺寸的整数倍。本发明还提供一种具有多个TFT的显示器,包括:具有多晶硅层的TFT,且该多晶硅层带有有源沟道区,该有源沟道区具有与其相关的至少一个主晶界,使得遍及显示器中,带相同数量有源沟道区的主晶界相比于显示器的其它多个TFT占据支配地位;其中,TFT通过调整晶粒尺寸、晶界倾角和有源沟道区尺寸等参数来制造。
申请公布号 CN102142463A 申请公布日期 2011.08.03
申请号 CN201010617914.4 申请日期 2002.11.27
申请人 三星移动显示器株式会社 发明人 李基隆
分类号 H01L29/786(2006.01)I;H01L29/04(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I;G02F1/136(2006.01)I 主分类号 H01L29/786(2006.01)I
代理机构 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 代理人 余朦;王艳春
主权项 一种具有多个TFT的显示器,包括:具有多晶硅层的TFT,且该多晶硅层带有有源沟道区,该有源沟道区具有与其相关的至少一个主晶界,使得遍及显示器中,带相同数量有源沟道区的主晶界相比于显示器的其它多个TFT占据支配地位;其中,TFT通过调整晶粒尺寸、晶界倾角和有源沟道区尺寸等参数来制造。
地址 韩国京畿道