| 发明名称 | 转移模块及磨片调平工具 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种转移模块，用于固定待磨片的芯片，所述转移模块包括转移平板及旋转块，所述转移平板上设置有角度刻度线，所述旋转块固定在所述转移平板上，其中心线与所述角度刻度线的零刻度线重叠，且在所述转移平板上旋转，从而可方便地调节所述芯片与所述转移平板之间的夹角；同时，本实用新型还公开了一种磨片调平工具，所述磨片调平工具中的转移模块包括转移平板及旋转块，所述转移平板上设置有角度刻度线，所述旋转块固定在所述转移平板上，与所述角度刻度线的零刻度线重叠，且在所述转移平板上旋转，从而可方便地调节所述芯片与所述转移平板之间的夹角。 | ||
| 申请公布号 | CN201913539U | 申请公布日期 | 2011.08.03 |
| 申请号 | CN201020664331.2 | 申请日期 | 2010.12.16 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司 | 发明人 | 张玉多;罗旖旎;曾国胜;李德勇;胡强 |
| 分类号 | B24B37/00(2006.01)I;B24B41/00(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种转移模块，用于固定待磨片的芯片，其特征在于，包括：转移平板，其上设置有角度刻度线；以及旋转块，固定在所述转移平板上，其中心线与所述角度刻度线的零刻度线重叠，且在所述转移平板上旋转。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||