检查装置

摘要

本发明提供一种即使在高温检查中探针卡热膨胀也始终能够以适当的接触负载进行检查的检查装置。本发明的检查装置(10)具有能够调节温度的载置台(11)、升降驱动机构(12)、探针卡(13)和控制装置(14)，升降驱动机构(12)包括：使载置台(11)升降、且通过联结部件(125A、125B)连结的第一、第二驱动轴(123A、123B)；驱动这些驱动轴(123A、123B)的步进电动机(124)；和在第一、第二驱动轴(123A、123B)间对基于多个探针(13A)与器件间的接触负载的转矩进行检测的转矩检测单元(128)，控制装置(14)具有根据探针卡(13)由于温度变化而膨胀时的来自转矩检测单元(128)的转矩信号控制为基准转矩的转矩控制部(143)。

主权项

一种检查装置，其包括：内置有温度调整机构并能够移动的载置台；使所述载置台升降的升降驱动机构；控制所述升降驱动机构的控制装置；和配置在所述载置台的上方的具有多个探针的探针卡，将载置在所述载置台上的被检查体通过所述温度调整机构加热或冷却至规定的温度，通过所述升降驱动机构使在所述被检查体上形成的多个器件的至少一个器件与所述探针卡的多个探针以规定的接触负载电接触，进行所述器件的电特性检查，该检查装置的特征在于：所述升降驱动机构包括：驱动所述载置台并通过联结部件连结的第一、第二驱动轴；驱动第一、第二驱动轴的电动机；和在所述第一驱动轴与所述第二驱动轴间对基于所述多个探针与至少一个所述器件间的接触负载的转矩进行检测的转矩检测单元，所述控制装置具有根据所述探针卡因温度变化而膨胀、收缩时的所述转矩检测单元的检测结果控制所述转矩的转矩控制部。