发明名称 |
吸头与应用此吸头的输送机台 |
摘要 |
本发明公开一种吸头与应用此吸头的输送机台,其中该吸头包括一第一传动部、一第二传动部以及一吸嘴。第二传动部磁吸于第一传动部,以容许第二传动部相对于第一传动部位移。此外,吸嘴配置于第二传动部,并且经由第二传动部来被第一传动部带动。此外,本发明还公开一种输送机台,包括一承载盘、一传动装置以及前述的吸头。承载盘用以承载一被输送物,而吸头由传动装置驱动,以吸取该被输送物。此吸头以及应用此吸头的输送机台具有高输送效率,并可维持机台在输送过程中的正常运作。 |
申请公布号 |
CN102142390A |
申请公布日期 |
2011.08.03 |
申请号 |
CN201010109447.4 |
申请日期 |
2010.02.03 |
申请人 |
日月光半导体制造股份有限公司 |
发明人 |
谢荣林;陈尚智;钟宏宗 |
分类号 |
H01L21/683(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/683(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
陈小雯 |
主权项 |
一种吸头,包括:第一传动部;第二传动部,磁吸于该第一传动部,并容许该第二传动部相对于该第一传动部位移;以及吸嘴,配置于该第二传动部,并且经由该第二传动部来被该第一传动部带动。 |
地址 |
中国台湾高雄市 |