| 发明名称 |
Ultra high precision measurement tool with control loop |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2124244(B1) |
申请公布日期 |
2011.08.03 |
| 申请号 |
EP20080156663 |
申请日期 |
2008.05.21 |
| 申请人 |
ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH |
发明人 |
FROSIEN, JUERGEN |
| 分类号 |
H01J37/08;H01J27/26;H01J37/26;H01J37/304 |
主分类号 |
H01J37/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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