用于转载石英舟的自动传输装置

摘要

一种用于转载石英舟的自动传输装置，解决了传统手工操作可靠性较差、效率低和现有传输装置受结构的约束，影响移动的活动范围等问题，它包括机架、升降臂和抓取机构以及电气控制装置，其技术要点是：升降臂通过连接其上的主动旋转臂、被动旋转臂与抓取机构组成四连杆调整机构，升降臂上的主动旋转臂固定在手臂旋转电机驱动的传动轴上，主动旋转臂的伸缩臂铰接在抓取机构的一端，升降臂上的被动旋转臂固定在被动轴上，另一端铰接在抓取机构上。其设计合理，传动结构简便，移动的活动范围广，且传输定位控制快捷、精确，安装容易，调试、维护方便，显著增加承载能力和运行的安全可靠性，提高热处理设备的作业效率，避免晶圆片或太阳能电池片破损。

主权项

一种用于转载石英舟的自动传输装置，包括带有升降装置的机架、组装在所述升降装置的螺母上的升降臂和抓取机构以及电气控制装置，其特征在于：所述升降臂通过连接其上的主动旋转臂、被动旋转臂与所述的抓取机构组成四连杆调整机构，所述升降臂上的主动旋转臂的基体固定在手臂旋转电机驱动的传动轴上，所述主动旋转臂的伸缩臂铰接在所述抓取机构的一端，所述升降臂上的被动旋转臂一端固定在被动轴上，另一端铰接在所述抓取机构的另一端。