| 发明名称 |
METHOD OF MASK FORMING AND METHOD OF THREE-DIMENSIONAL MICROFABRICATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1879221(A4) |
申请公布日期 |
2011.08.03 |
| 申请号 |
EP20050734479 |
申请日期 |
2005.04.25 |
| 申请人 |
RIBER |
发明人 |
KANEKO, TADAAKI;SANO, NAOKATSU |
| 分类号 |
H01L21/203;C23C14/02;C23C14/06;H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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