顶侧分开控制的多晶硅铸锭炉加热装置

摘要

本发明涉及多晶硅铸锭炉的制造技术领域，旨在提供一种顶侧分开控制的多晶硅铸锭炉加热装置。该装置包括内部装有隔热笼体的炉室，隔热笼体上下分别设置顶部保温板和下保温层，外敷坩埚护板的坩埚位于隔热笼体中；该加热装置具有两个加热器：其中一个为顶部加热器，设于坩埚的上方；另一个为侧部加热器，环设于坩埚护板四周。本发明可在长晶过程中对热场内温度进行控制，根据需要优化顶侧加热功率的配比，从而可使硅的结晶凝固得到有效的控制，进而加快长晶效率，降低能耗，提高硅锭品质。本发明的设计合理、能够有效改善多晶硅晶向，降低能耗、增大晶粒、减少晶界，从而提高多晶硅锭品质。

主权项

顶侧分开控制的多晶硅铸锭炉加热装置，包括内部装有隔热笼体的炉室，隔热笼体上下分别设置顶部保温板和下保温层，外敷坩埚护板的坩埚位于隔热笼体中；其特征在于，该加热装置具有两个加热器：其中一个为顶部加热器，设于坩埚的上方；另一个为侧部加热器，环设于坩埚护板四周。